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    速普儀器發布【SuPro】薄膜應力測試儀FST2000新品

    儀器信息網 2020/05/15 10:33:43 點擊 169 次
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    [導讀] 近日,深圳市速普儀器有限公司在儀器信息網發布【SuPro】薄膜應力測試儀FST2000新品

    【SuPro】薄膜應力測試儀FST2000

    基于經典基片彎曲法Stoney公式測量原理,采用先進的矩陣激光點陣掃描方式和探測技術,以及智能化的操作,使得FST2000薄膜應力儀特別適合于晶圓類光電薄膜樣品的曲率半徑和應力測量

    獨特的雙模掃描模式方便適應不同應用場景下需求:Mapping不同區域的薄膜應力分布或快速表征樣品整體平均殘余應力。

    微信圖片_20200507152618.jpg 


    創新點:

    1.半導體薄膜、光電薄膜專用殘余應力測試儀器; 2.兼容區域性薄膜應力分布mapping結果和快速表征樣品整體平均殘余應力; 3.通過獨特對減模式算法,可數據處理校正原始表面不平影響。

    【SuPro】薄膜應力測試儀FST2000

    [來源:儀器信息網]  未經授權不得轉載
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