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        納米尺度3D光學干涉測量系統VS1800

        • 型號 VS1800
        • 產地 日本
        • 樣本 暫無
        • 品牌日立

        核心參數

        • 儀器種類 超高速激光共聚焦顯微成像系統
        • 產地類別 進口儀器

        天美(中國)科學儀器有限公司 查看聯系方式

        • 營業執照已審核
        • 品牌性質經銷商
        • 白金會員第18年
        • 信用積分4134
        • 反饋速度15-18小時
        • 同類儀器1臺
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        納米尺度3D光學干涉測量系統VS1800 產品介紹 用戶評論

        產品介紹

        產品介紹:

        納米尺度3D光學干涉測量系統VS1800應用光干涉現象,對微細的表面形貌進行測量,可實現高性能薄膜、半導體、汽車零配件、顯示器等行業所要求的高精度測量。而且還能以無損傷方式進行多層膜的層結構以及層內部的異物測量。

         

         

        主要特點:

        n  采用光干涉方式,非接觸測量

        n  3D測量支持線粗糙度和面粗糙度測量

        n  自動粗糙度參數選擇(ISO25178

        n  毫米級大面積測量

        n  高精度測量(垂直方向分辨率0.01nm

        n  快速、高重復性測量

        n  多層薄膜和薄膜內層缺陷分析

         

        照明系統

        鹵素光源,波長530nm

        相機

        標準相機(640x480像素),高像素相機可選(1024x1024像素)

        物鏡

        2.5x5x10x20x50x110x可選

        顯微鏡控制

        Z軸馬達控制

        樣品臺

        Type1Tpye2Type3

        減震臺

        被動式減震臺,主動式減震臺可選

        掃描器

        機械馬達掃描器,壓電陶瓷掃描器可選

        測量軟件

        VS-MeasureVS-Viewer

         


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        常用搭配

        • 生物顯微鏡 |
        • 紅外顯微鏡 |
        • 偏光顯微鏡 |
        • 立體顯微鏡

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