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            納米尺度3D光學干涉測量系統VS1800

            • 型號 VS1800
            • 產地 日本
            • 樣本 暫無
            • 品牌日立

            核心參數

            • 儀器種類 超高速激光共聚焦顯微成像系統
            • 產地類別 進口儀器

            天美(中國)科學儀器有限公司 查看聯系方式

            • 營業執照已審核
            • 品牌性質經銷商
            • 白金會員第18年
            • 信用積分4134
            • 反饋速度15-18小時
            • 同類儀器1臺
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            納米尺度3D光學干涉測量系統VS1800 產品介紹 用戶評論

            產品介紹

            產品介紹:

            納米尺度3D光學干涉測量系統VS1800應用光干涉現象,對微細的表面形貌進行測量,可實現高性能薄膜、半導體、汽車零配件、顯示器等行業所要求的高精度測量。而且還能以無損傷方式進行多層膜的層結構以及層內部的異物測量。

             

             

            主要特點:

            n  采用光干涉方式,非接觸測量

            n  3D測量支持線粗糙度和面粗糙度測量

            n  自動粗糙度參數選擇(ISO25178

            n  毫米級大面積測量

            n  高精度測量(垂直方向分辨率0.01nm

            n  快速、高重復性測量

            n  多層薄膜和薄膜內層缺陷分析

             

            照明系統

            鹵素光源,波長530nm

            相機

            標準相機(640x480像素),高像素相機可選(1024x1024像素)

            物鏡

            2.5x5x10x20x50x110x可選

            顯微鏡控制

            Z軸馬達控制

            樣品臺

            Type1Tpye2Type3

            減震臺

            被動式減震臺,主動式減震臺可選

            掃描器

            機械馬達掃描器,壓電陶瓷掃描器可選

            測量軟件

            VS-MeasureVS-Viewer

             


            注:該儀器未取得中華人民共和國醫療器械注冊證,不可用于臨床診斷或治療等相關用途

            天美(中國)科學儀器有限公司

            儀信通白金會員18年

            常用搭配

            • 生物顯微鏡 |
            • 紅外顯微鏡 |
            • 偏光顯微鏡 |
            • 立體顯微鏡

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